TESCAN ORSAY NanoSpace UHV

NanoSpace производится фирмой ORSAY PHYSICS, входящей в группу компаний TESCAN ORSAY HOLDING. Это удобная универсальная система, специально разработанная для работы в условиях сверхвысокого вакуума (UHV). NanoSpace может быть сконфигурирован как сканирующий электронный микроскоп (SEM) или как двухлучевая платформа, сочетающая в себе SEM и высокоэффективный сфокусированный ионный пучок (FIB). Этот сверхвысоковакуумный прибор обладает модульной архитектурой, обеспечивающей большой выбор колонн SEM и FIB, соответствующих конкретным потребностям и целям конечных пользователей. NanoSpace предлагает лучшее, полное и индивидуальное решение для нанообработки сфокусированным ионным пучком и анализа поверхности образцов, требующих строгой защиты от загрязнений окружающей среды.

NanoSpace также может быть оснащен специализированной, т.е. отвечающей требованиям сверхвысокого вакуума, системой инжектирования газов (GIS) для локального осаждения металлов и/или селективного травления.

NanoSpace может быть подключен к другим установкам, таким как высоковакуумные ростовые камеры, инструменты для анализа поверхности, и т.д. Это превращает NanoSpase в составную часть нано-лаборатории или нано-фабрики. Для интеграции с другими установками может использоваться сверхвысоковакуумная промежуточная камера.

Таким образом, NanoSpace представляет собой специализированную, уникальную исследовательскую установку, наиболее полно отвечающую решаемым задачам. Инженеры и конструкторы ORSAY PHYSICS обеспечивают совместимость и максимально возможное удобство эксплуатации разнообразного оборудования, установленного на этой платформе.