Турбомолекулярні насоси Pfeiffer Vacuum HiPace
Турбомолекулярні насоси
Будучи провідним виробником турбомолекулярних насосів, Pfeiffer Vacuum пропонує ряд виробів з гібридними і магнітними підшипниками.
Застосування:
Напівпровідникова промисловість
- Літографія
- Хімічне осадження з парової фази (CVD)
- Конденсація з парової фази (PVD)
- Іонно-променеве травлення
- Іонна імплантація
- Покриття
Покриття скла
- Тонкі плівки
- Офтальмологія
- Покриття сонячних фотоелементів
- Промислове застосування
Металургія
- Електронно-дугове зварювання
НДДКР
- Фізична обладнання
- Імітація умов космосу
Модель | Швидкість відкачування для N2, л/с | Коефіцієнт компресії N2 |
HiPace® 10 | 10 | 3 · 10Е6 |
HiPace® 30 | 32 | > 1,0·10Е11 |
HiPace® 60 P | 64 | 1 · 10Е6 |
HiPace® 80 | 67 | > 1,0·10Е11 |
HiPace® 300 | 260 | > 1,0·10Е11 |
HiPace® 400 | 355 | > 1,0·10Е11 |
HiPace® 800 | 790 | > 1,0·10Е11 |
HiPace® 1500 | 1450 | > 1,0·10Е11 |
HiPace® 2300 | 1900 | > 1,0·10Е11 |
0грн.
- Stock: In Stock
- Model: Pfeiffer Vacuum HiPace