Турбомолекулярні насоси Pfeiffer Vacuum HiPace

Турбомолекулярні насоси

Будучи провідним виробником турбомолекулярних насосів, Pfeiffer Vacuum пропонує ряд виробів з гібридними і магнітними підшипниками.

Застосування:

Напівпровідникова промисловість

- Літографія 

- Хімічне осадження з парової фази (CVD)

- Конденсація з парової фази (PVD)

- Іонно-променеве травлення

- Іонна імплантація

- Покриття

Покриття скла

- Тонкі плівки

- Офтальмологія

- Покриття сонячних фотоелементів

- Промислове застосування

Металургія

- Електронно-дугове зварювання

НДДКР

- Фізична обладнання

- Імітація умов космосу