Турбомолекулярні насоси
5-осьові турбомолекулярні насоси, Pfeiffer Vacuum з магнітною левітацією і ступенем компресії для швидкості відкачування до 3050 л / с для N2
Інтегрована електроніка приводу
Установка в будь-який орієнтації
З водяним охолодженням
Маркування CE і відповідність ROHS
Доступна модель з підігрівом (MT) для агресивних середовищ.
Турбомолекулярний насос ATH-M був розроблений для застосування в напівпровідниковій промисловості, ґрунтуючись на багаторічному досвіді роботи.
