Name: Турбомолекулярные насосы Pfeiffer Vacuum ATH
Brand: Pfeiffer Vacuum GmbH
Availability: InStock

Турбомолекулярные насосы Pfeiffer Vacuum ATH

Турбомолекулярные насосы

5-осевые турбомолекулярные насосы, Pfeiffer Vacuum с магнитной левитацией и ступенью компрессии для скорости откачки до 3050 л / с для N2

Интегрированная электроника привода

Установка в любой ориентации

С водяным охлаждением

Маркировка CE и соответствие ROHS

Доступна модель с подогревом (MT) для агрессивных сред.

Турбомолекулярный насос ATH-M был разработан для применения в полупроводниковой промышленности, основываясь на многолетнем опыте работы.

Модель	Скорость откачивания для N2, л/с	Коэффициент компрессии N2
ATH 500 M	350	> 2 · 10Е7
ATH 1600 M	1360	> 1 · 10Е8
ATH 2300 M	2150	> 1 · 10Е8
ATP 2300 M	2050	> 1 · 10Е8
ATH 2804 M	2350	> 1 · 10Е8
ATH 3204 M	3050	> 1 · 10Е8
HiPace® 300 M	255	> 1,0·10Е11
HiPace® 700 M	685	> 1,0·10Е11
HiPace® 800 M	790	> 1,0·10Е11