Турбомолекулярные насосы Pfeiffer Vacuum HiPace

Турбомолекулярные насосы

Являясь ведущим производителем турбомолекулярных насосов, Pfeiffer Vacuum предлагает ряд изделий с гибридными и магнитными подшипниками.

Применение:

Полупроводниковая промышленность

- Литография 

- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

- Конденсация из паровой фазы (PVD)

- Ионно-лучевое травление

- Ионная имплантация

- Покрытия

Покрытия стекла

- Тонкие пленки

- Офтальмология

- Покрытие солнечных фотоэлементов

- Промышленное применение

Металлургия

- Электронно-дуговая сварка

НИОКР

- Физическое оборудование

- Имитация условий космоса